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原创 浅谈半导体工艺变革

浅谈半导体工艺变革MOSFET基础  纯净的硅中所有的价电子都参与了成键（下图(a)），里面没有自由电子是很少的，所以是电的不良导体。但它的导电性可以通过在硅晶格中引人称为掺杂剂(dopant)的少量杂质来提高。掺入V族元素的杂质（如As），含五个价电子，它将在晶格中取代一个硅原子，因此它仍然和它周围的四个硅原子形成共价键，但第五个价电子与As原子之间的束缚却很弱，如下图(b) 所示。 室温下的晶格热振动足以使这个电子自由运动， 由此形成一个带正电的As+ 离子和一个自由电子。这个自由电子可以携带电流，