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原创 芯片制造上下游产业链及其工艺

拉单晶,磨外圆,切片,倒角,研磨,CMP,扩散,薄膜沉积,光刻,刻蚀,离子注入,CMP,金属化,晶圆检测,链接Pad,施加输入信号,采集输入信号,判断合规,打点标记。逐片传送晶圆,链接芯片引脚,施加输入信号,采集输入信号,判断合规,标记分选。背面减薄,晶圆切割,贴片,引线键合,模塑,成型,成品检测;系统设计,逻辑设计,电路设计,物理设计。

2024-01-18 15:36:14 327

原创 当下晶圆缺陷检测检测现状

KLA公司是世界半导体检测设备巨头,也是半导体检测设备光机设备的行业标杆,具有极大的参考价值,大多数设备都用到了深度学习。

2024-01-18 09:29:21 593

原创 晶圆表面缺陷检测现状概述

凹坑,凸起,尖角,沟槽),使用光束对晶圆进行照射,收集反射光和散射光信息进行缺陷判断,进一步可分为无图案晶圆表面检测和宏观缺陷检测设备。KLA使用SR-DUV光,检测精度在10nm以下。扫描电子显微(电子束和晶圆表面产生二次电子,X射线等)获取高分辨率的图像,然后用图像处理表面缺陷(凹坑,凸起,尖角,沟槽等)表面容貌和材料信息,分辨率可达5-10nm。晶圆表面缺陷检测设备主要检测晶圆外观呈现出来的缺陷,损伤、毛刺等缺陷,主要设备供应商KLA,AMAT,日立等,其中KLA在晶圆表面检测设备占有市场52%左右。

2024-01-16 12:35:01 639

原创 纳米量级晶圆表面微观缺陷检测技术调研

晶圆表面形状偏差分为:宏观几何误差,中间几何误差,微观几何误差,跟别用表面形状误差,表面波纹度,表面粗度来描述。

2024-01-15 11:27:37 475

原创 吸嘴旋转对位贴合

也可以相机拍照2次解决此问题,第一次相机拍照,得到一个位置和角度,根据角度旋转到θ3,第二次拍照得到一个位置和角度,这时的角度和θ3相差为0,根据中心位置平移就可以和Lead Frame的中心位置贴合。已知芯片中心的位置A1(x1,y1),角度θ1,吸嘴中心的位置A2(x2,y2),需要移到A3(x3,y3)角度θ3,这里不讨论吸嘴中心不垂直吸嘴的问题;a、旋转:视觉给芯片中心,但吸嘴的中心不一定在芯片中心,吸嘴旋转后视觉给的芯片中心变化了,绕吸嘴中心旋转。

2024-01-12 14:22:36 652

原创 halcon 标定板像素当量的标定

标定板7*7,圆的直径是1.25mm,两个圆的距离是2.5mm,求出每个圆心距的像素距离,然后平均值。背景:当镜头不是远心镜头时,FA镜头没法知道一个像素的尺寸。两点的真实距离为D,像素距离为d,这时像素当量 =D/d;2、halcon求像素当量的方法。

2024-01-11 16:34:56 485

原创 绕某个点旋转

假设 v点的坐标是(x, y) ,那么可以推导得到 v’点的坐标(x’, y’)(设原点到v的距离是r。点V(x,y)绕点O(x0,y0)得到新的点V’(x',y');V和V‘原点平移了(x0,y0)2、首先推导不在原点旋转。1、首先推导绕原点旋转。所以旋转θ后的坐标如下。通过三角函数展开得到。

2024-01-09 09:52:56 457

原创 手眼标定眼在手上

在定位时候,往往希望相机能返回的是机械的世界坐标,而不是相机的的图像坐标。从而间接计算出相机坐标系与机械坐标世界坐标转换矩阵,以镜头中心为参考点。

2023-08-06 08:46:36 1218

原创 半导体后道工艺及设备

半导体后道工艺及设备

2023-03-24 13:47:36 672

原创 机器视觉亚微米高精度定位

Mark 属于中心对称图形,其中心为唯一求解目 标,因此可将 Mark 轮廓拟合为圆轮廓,利用圆轮廓对 Mark 轮廓做滤波处理,平衡像素误差,提高定位精度,同 时利用最小二乘法求解圆轮廓中心坐标,最小二乘法 拟合圆轮廓时对孤立噪声点较为敏感,本文方法亚像素 轮廓提取可保证轮廓点位置的准确性,噪声点的影响非 常微小,因此最小二乘法可用来拟合圆轮廓中心坐标,此 坐标即为待求解的 Mark 中心坐标。目前主流 Mark 定位算法可分为两类: 边缘检测拟合 定位算法与模板匹配定位算法。

2023-03-16 17:28:57 42

原创 机器视觉三大保边滤波

机器视觉三大保边滤波

2023-02-21 16:58:48 632

原创 晶圆级封装概述

晶圆的封装

2022-12-15 16:45:16 349

原创 机器视觉中的缺陷检测常用方法

机器视觉中的缺陷检测常用方法

2022-12-13 15:42:10 218

原创 匹配算法优缺点

匹配算法优缺点

2022-12-09 16:52:17 1197

原创 2D矩阵变换

2D矩阵变换

2022-12-07 10:47:20 7

原创 双相机的标定

双相机的标定

2022-12-02 11:28:57 104

原创 滤波方法简要

滤波方法

2022-11-29 13:22:14 6

原创 仿射变换affine和透视变换

仿射变换affine和透视变换

2022-11-17 11:17:29 861

原创 单例模式 类

private void Form1_Load(object sender, EventArgs e) { List<boy> b1 = new List<boy>(); boy.instance=new boy(); boy.instance = new boy(); } } class boy { private string _...

2022-03-13 23:54:31 204

原创 视觉在UVW公式推导

求出了偏移量Dx,Dy求出了Dθ角度。

2022-03-05 22:36:11 33

原创 IgH EtherCAT Master 源码编译安装

1.下载IgH EtherCAT Msater 源码:http://http://www.etherlab.org/download/ethercat/ethercat-1.5.2.tar.bz2 版本为1.5.22.编译源码:(1)解压源码包tar -xjf ethercat-1.5.2.tar.bz2cd ethercat-1.5.2/(2)配置编译:在运行./configure时要配置选项,我的配置是:./configure --with-linux-dir=/usr..

2021-11-08 23:09:56 1260 1

原创 ethercat主站的搭建

开源系统:SEOM和IGHRT内核:RTAI, Xenomai调试抓包工具wireshark工具

2021-07-07 20:53:18 1249

原创 实时工业以太网通信对比

目前国外伺服ethercat最小通信周期能达到125us以下

2021-06-22 10:23:41 945

原创 XY平台误差激光干涉仪测量

1、定位误差2、俯仰角误差3、偏摆角误差

2021-06-21 15:23:46 168

原创 控制算法与比较

传统算法:1、PID 2、PID+补偿控制 3、解耦控制等智能算法:1、模糊控制 2、

2021-06-18 11:13:10 1347

原创 图像处理相似度度量方法

1. 欧氏距离2. 曼哈顿距离3. 切比雪夫距离4. 闵可夫斯基距离5. 标准化欧氏距离6. 马氏距离7. 夹角余弦8. 汉明距离9. 杰卡德距离 & 杰卡德相似系数10. 相关系数 & 相关距离11. 信息熵...

2021-06-16 15:09:42 431

原创 UVW计算公式

the positions of fixed points (P, Q, R, S) are given as (xp, yp) = (- h, -h),

2021-06-15 16:46:02 24

原创 消除背景不均 底帽和顶帽变换

顶帽变换:暗背景下亮物体 That(f)=f−(f∘b),定义为f减去其开操作。底帽变换:亮背景下暗物体 Bhat(f)=(f∙b)−f,定义为f的闭操作减去f。

2021-05-25 09:17:42 130

原创 yolov4 训练c++流程

1、下载darknet c++框架2、编译选择有或者没有GPU的程序2、labelImg工具标注图片3、配置文件:*.names *.data *.cfg yolov4.conv.137 包括train.txt 、 val.txt文件4、训练命令所在目录文件 ->darknet_no_gpu.exe detector train data/yolov4.data data/yolov4.cfg data/yolov4.conv.137 -map...

2021-05-08 09:41:57 473

原创 光刻机对准(对位)系统技术路线

1、激光步进对准LSA(Laser step alignment)2、激光干涉对准LIA(filed image alignment)3、场成像对准FIA(laser interferometer alignment)

2021-03-22 13:47:48 110

原创 芯片制造工艺

1、制造晶棒2、生产晶圆3、晶圆涂胶4、曝光和刻蚀5、离子参杂6、晶圆针测7、切割封装8、测试

2020-12-08 15:15:25 209

原创 ethercat 驱动器 运行模式

地址是6060H1、Profile position mode (Profile 位置控制模式)2、Velocity mode(速度控制模式)3、Profile velocity mode(Profile 速度控制模式)4、Torque profile mode(Profile 转矩控制模式)6、Homing mode(原点复位位置控制模式)7、Interpolated position mode (插补位置控制模式)8、Cyclic synchronous pos..

2020-10-12 09:12:26 2330

原创 C++队列类的使用案例

头文件:#include<queue>例程: queue<int> q1; int a = 1, b = 2; q1.push(a); q1.push(b);

2020-09-27 10:17:14 253

原创 opencv底帽变换

为了防止光的不均匀,采取底帽变换。void H_F(Mat src){ Mat res= Mat::zeros(src.rows, src.cols, CV_8UC1); Mat res1 = Mat::zeros(src.rows, src.cols, CV_8UC1);; Mat el = getStructuringElement(MORPH_RECT, Size(7, 7)); morphologyEx(src, res, MORPH_CLOSE,el);...

2020-09-24 15:30:52 215

原创 C++冒泡排序使用案例

由小到大的排序void sort1(vector<double> area, vector<int> num, int &a){ int i = 0, j = 0;double temp = 0; double temp_num = 0; for (int i = 0;i < area.size() - 1;i++) { for (j = 0;j < area.size() -1- i;j++) ...

2020-09-24 14:53:31 184

原创 基于多项式插值亚像素的实现

void SubPixelEdge(Mat & imgsrc, Mat & edge, vector<Point2f> & vPts, double &x_c, double &y_c, int thres, int parts){ static Mat kernels[KERNEL_SUM]; if (kernels[0].empty()) { int k = 0; kernels[k++] = (Mat_<float>(.

2020-09-24 14:51:29 43 2

原创 双边滤波应用

在滤波的同时能很好的保留边缘void Bilateral_Filter(Mat src)//双边缘滤波{ Mat src_c = src.clone(); bilateralFilter(src, src_c, 11, 10, 20);}

2020-09-10 17:12:06 184

原创 gama增强 opencv

Mat imageGamma(src.size(), CV_32FC1); for (int i = 0; i < src.rows; i++) { for (int j = 0; j < src.cols; j++) { int pix = src.at<uchar>(i, j); imageGamma.at<float>(i, j) = (src.at<uch...

2020-09-09 17:15:17 134

原创 opencv图像增强应用

Mat src_c= src.clone(); Mat h1_kernel = (Mat_<char>(3, 3) << -1, -1, -1, -1, 8, -1, -1, -1, -1); Mat h2_kernel = (Mat_<char>(3, 3) << 0, -1, 0, -1, 5, -1, 0, -1, 0); Mat h1_result, h2_result; filter2D(src_c, h1_r...

2020-09-09 14:03:06 178

原创 C++多线程应用

#include <iostream>#include<thread>using namespace std;void t1_run(){ cout << "hello world" << endl; cout << "hello world" << endl; cout << "hello world" << endl; cout << "hello wor...

2020-07-09 14:57:50 94

Haar小波和形状模板的图像快速匹配算法.pdf

针对传统的模板匹配方法在低对比度的图像中匹配不到目标物体和匹配计算量大等问题,提 出一种基于离散 Haar 小波变换和形状模板的图像快速匹配算法。首先,使用 Haar 小波对图像进行 分解操作,将分解的低频信号重构得到压缩图像,以减少匹配计算量; 其次,使用形状模板对压缩图 像进行匹配,设计出 Haar 小波图像压缩和形状模板匹配相结合的算法及程序。最后,经大量实验结 果证实: 所提出的算法不仅匹配速度快,精度高,而且匹配结果不受遮蔽、混乱和非线性光照变化等 情况的影响,适宜于在复杂环境中进行图像提取、工件识别等。

2021-06-25

茉莉特机器视觉镜头技术参数基础.zip

茉莉特远心镜头培训,远心镜头技术参数基础,以及相机和镜头选择匹配

2021-06-25

形态学梯度的样条插值亚像素边缘检测方法.pdf

针对传统边缘检测算法存在定位精度低、对噪声敏感等缺点,提出一种基于形 态学梯度的样条插值亚像素边缘检测方法。利用改进的数学形态学梯度算子进行边缘 点的粗定位,再利用三次样条插值法对提取出的边缘图像进行插值运算,最后利用数学 形态学细化算子将提取出的边缘进行细化,可有效地检测出图像边缘,实现亚像素边缘 检测。实验结果表明,这种方法能准确地检测出边缘,优于传统的边缘检测方法。

2021-06-25

重叠细胞图像分离算法的设计.pdf

堆叠或者重叠目标识别图像处理算法,利用图像处理算法把堆叠的细胞分离出来

2021-06-25

darknet yoloV4 C++.zip

darknet训练yolov4

2021-06-24

基于VxWorks的双工件台实时软件设计.caj

光刻机双工件台实时系统软件设计

2021-06-24

激光自动对准系统中快速反射镜机构研究.pdf

激光自动对准系统中快速反射镜机构研究

2021-06-15

Moritex机器视觉镜头技术参数基础.pdf

Moritex机器视觉镜头技术参数基础

2021-06-15

基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究.pdf

光刻机对准关键技术,基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术,超高精度对准系统

2021-06-15

光刻机精细对准方法研究.caj

光刻机精细对准方法研究,阅读需要用CAJ格式的阅读软件打开

2021-06-15

高精度位置检测及定位技术研究.pdf

光刻机、曝光机纳米工件台的研究

2021-06-15

subpixel.cpp

基于多项式亚像素边缘用C++的实现,自己写的,经过测试,在有噪声的情况稳定性良好。

2020-06-09

一种快速亚像素边缘检测算法.pdf

一种快速亚像素边缘检测算法的实现的理论,可以快速实现亚像素的算法,在时间上有一定的优势,先看理论,然后自己通过理论用C++实现

2020-06-08

HaarWaveletTransform-master.zip

小波转换基于公式,再小波转换用C++实现,英文名称叫HaarWaveletTransform,如有问题,欢迎交流

2020-06-04

Mask Alignment System.pdf

基于机器视觉高精度对准系统的实现,用机器视觉实现亚微米的精度,用uvw对准结构,可以实现高精度对准。

2020-06-04

基于插值和曲面拟合的图像亚像素配准算法.pdf

基于插值和曲面拟合的图像亚像素配准算法,亚像素现在Zernike不成熟,不能应用在实际中,插值法比较稳定,有良好的应用场景。

2020-06-04

ZernikeMoment_SubPixel_Detection.pdf

ZernikeMoment实现亚像素边缘提取的原理,基于亚像素叫精度对边缘提取,比传统的canny等像素级算法精度提高5-8倍

2020-05-27

C#_Pylon5_Bitmap_VS2010_2CCD_V5.0.zip

巴斯勒相机取像用API函数C,用C#开发,包括单相机触发取像,多相机取像,连续采集,曝光设置等的操作

2020-05-27

ZernikeMoment_SubPixel_Detection.zip

亚像素边缘提取opencv实现 (ZernikeMoment_SubPixel),7*7Zernike矩及Opencv实现

2020-05-27

halcon卡尺找矩形拟合矩形的算法

halcon卡尺找矩形拟合矩形的算法,用halcon编译器编写,可以用halcon编译器运行的demo,精度高,矩形提取率高的特点。

2024-01-16

halcon技术图片清晰度的算法

halcon技术图片清晰度的算法,用halcon编译器编写的,可以在halcon编译器上运行的demo,计算最佳清晰度,可用于自动对焦的算法。

2024-01-16

halcon 模板匹配算法

halcon 模板匹配算法,形状模板匹配的模板创建和模板搜索的demo,用halcon编译器编写,可以在halcon编译器上运行。

2024-01-16

halcon用卡尺工具拟合圆的算法

halcon用卡尺工具拟合圆的算法,halcon工具上编写和运行。测量工具都是基于卡尺(边缘检测)工具开发的,通常的做法是在卡尺工具找到边缘点的基础上进行拟合圆的轮廓。

2024-01-16

halcon像素当量标定

halcon写的像素当量标定程序,用7*7标定板标定,用来标定FA镜头的像元尺寸实际大小的算法,像元尺寸X方向的大小,像元尺寸y方向的大小,最终求得像元尺寸大小的平均值。

2024-01-14

halcon手眼标定程序

halcon手眼标定程序,用halcon的编译器编写的,可运行在halcon编译器上。4点法、9点法、N点法都可以将图像坐标与机械运动坐标联系起来,综合考虑调试难度、标定精度等因素,9点法标定是工业上使用广泛的二维手眼标定。

2024-01-14

机器视觉芯片缺陷检测综述

芯片缺陷检测是其品控的关键环节,关乎产品质量与良率。对近年来基于传统的机器视觉和基于深度学习的芯片缺陷检测方法进行梳理与分析,介绍了对封装前的芯片表面缺陷和封装体存在的印刷缺陷与引脚缺陷检测的相关研究。其中,对于深度学习缺陷检测方法,根据数据标签的不同,将其分为全监督学习、无监督学习和其他方法 3 大类进行归类介绍。此外,详细分析了芯片表面缺陷特性,以期为相关研究人员提供有效参考

2024-01-14

ASM 8312 Diebond半导体设备高精度晶圆贴片机操作使用说明书

ASM 8312 Diebond半导体设备高精度晶圆贴片机操作使用说明书,为了帮助了半导体设备了解功能或者操作作业的使用说明书

2024-01-14

Beisi 2200 Diebond半导体设备高精度晶圆贴片机 中文操作使用说明书

行业标杆半导体diebond 设备,Diebond半导体设备高精度晶圆贴片机 Beisi DieBond 2200中文操作使用说明书,帮助更好的了解设备的功能或者使用设备。

2024-01-14

各个细分高端装备运动控制技术和市场调研

各个细分高端装备的市场分析,技术难度,市场占有率,运动控制的技术难度,各个运动控制器以及驱动器公司运动控制器的突出点,技术优越性,以及市场占有率。

2024-01-13

Die Bond 晶圆键合设备DB800软件操作说明书

DB800 Die Bond半导体设备,是运行的比较成熟的设备,设备精度高运行稳定,本说明书是全英文,各个系统模块的介绍以及软件的操作说明,不管是软件开发还是操作使用都有参考意义

2023-08-06

晶圆键合设备对位标记算法

对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合 Canny 检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,实现对准标记的精确定位。实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约 0. 06 μm 的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。

2023-08-06

半导体晶圆键合设备开发前期调研(Die Bond)

晶圆Die Bond设备主要组成机构和工作原理、关键技术、发展现状。半导体芯片键合装备的主要组成机构包括晶圆工作台、芯片键合头、框架输送系统、机器视觉系统、点胶系统。半导体芯片键合装备的关键技术包括高速高精度运动控制技术、机器视觉技术、设备工艺技术、关键零部件技术。

2023-08-06

机器视觉halcon教程

非常全面的机器视觉halcon教程,以及学习课件:机器视觉概述,数字图像基础,了解和熟悉halcon,图像预处理,图像分割,特征提取,图像形态学,图像模板匹配,3D立体视觉,halcon相关实例和算法。等等非常全面的机器视觉入门课程以及课件,halcon的实例程序,帮助对机器视觉系统学习以及快速入门。

2023-08-06

Halcon的固定视点手眼标定方法.pdf

halcon 手眼标定 手眼标定,eye to hand ,仿射矩阵,高精度定位

2023-07-03

LDI曝光机开发的关键技术

LDI曝光机开发的关键技术

2022-11-24

亚像素多项式插值算法.zip

一种高精度亚像素算法,基于亚像素多项式插值算法,详情看开发文档并有有C++代码

2021-06-25

demo_emgu.zip

图像处理用C#写的一个demo,基于框架emug 4.0,demo清爽干净

2021-06-25

空空如也

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