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微小孔偏差对远场波前质量影响分析
点衍射干涉仪(PDI)中小孔质量影响参考球面波的质量,加工和装调误差使实际小孔与理想圆孔之间产生了偏差。利用瑞利-索末菲衍射公式,对因小孔加工和装调误差产生的边缘粗糙小孔和椭圆小孔的远场衍射波前质量作了详细的分析。小孔边缘的粗糙度主要在衍射波前中引入了三叶形像差,小孔的椭圆度在衍射波前中引入了小量的像散。对于直径在0.4~1.0μm的小孔,当小孔半径的均方根(RMS)偏差分别为0,15和30nm时,衍射
波前的RMS偏差分别达到10-8λ,10-4λ和10-3λ量级。研究结果表明,小孔边缘的粗糙度对衍射波前偏差的影响十分明显,但基本不影响强度分布;小孔的椭圆度对衍射波前的偏差影响很小,但对强度分布影响较大。实际加工或装调误差产生的椭圆小孔,其椭圆度很小,可以忽略其对衍射波前质量的影响。
2013-07-04
半导体激光器光束的准直设计
利用计算机仿真, 设计了相互垂直的椭圆截面柱透镜组来准直半导体激光束。两个椭圆截面柱透镜分别对半导体激光器两个方向的光束进行准直, 采用自适应加权和法进行优化计算, 结果可达到50Lrad 量级的发散角, 同时也可在远场形成圆形光斑。
2013-04-14
零补偿干涉检测实现及误差量规律
针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性,在合理设计零补偿器结构形式的基础上,综合考
虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化. 利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中,着重分析
调整误差对检验精度的影响,建立误差标定模型. 以一块二次离轴非球面反射镜为实例进行了计算机模拟分
析,得到对应不同调整误差的干涉图样,可以为快速地调整补偿器与被检元件之间相互位置提供参考,有助
于获得指导加工的真实面形结果.
2013-04-09
空空如也
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